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产品简介
公斤级粉末原子层沉积镀膜系统
详情介绍：
KG 系列粉末ALD包覆设备可用于电池、催化剂、磁性材料等材料的高精度包覆量产。
该系统能够包覆原子层级到纳米层级的范围内的厚度，具有超高灵敏度、均一性和重复性， 并具有高自动化程度，操作方便、扩展灵活。
技术参数：
均一性 < 3%
工艺温度 RT-300℃
极限压力 < 500mTorr
罐体容积近60L，百公斤级别/批次
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