韫茂科技超高真空双倾角室蒸发设备_报价-厦门韫茂科技有限公司

超高真空双倾角室蒸发设备

品牌：韫茂科技
产地：福建
关注度：2079
型号：QBT-E
报价：面议
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核心参数

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产品介绍

超高真空双倾角室蒸发设备

技术参数：

1、UHV超高真空腔体：2腔室，负荷锁和蒸发，负荷锁极限真空极限压力<1E-8 Torr，可加热RT-900ºC

2、蒸发腔：极限真空极限压力<3e-9 Torr

3、高分辨率镀膜速率显示及控制：±0.015，Å100mm镀膜均一性<3%

4、基板操控能力：可实现180度倾斜及360度旋转，0.1度的精准控制，加热RT-600ºC

5、传输：全自动样品传输

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工商信息

企业名称

厦门韫茂科技有限公司

企业类型

信用代码

91350200MA31JEYQ4Y

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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厦门韫茂科技有限公司成立于2018年，团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类**技术近50项，入选国家级高新技术企业及国家级专精特新“小巨人”企业。韫茂科技专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等领域薄膜沉积设备的研发与生产，目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。凭借在先进材料设备业

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