韫茂科技双腔型超高真空蒸镀系统_报价-厦门韫茂科技有限公司

双腔型超高真空蒸镀系统

品牌：韫茂科技
产地：福建
关注度：2231
型号：QBT-F
报价：面议
信息完整度：

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核心参数

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产品介绍

双腔型超高真空蒸镀系统

技术参数：

1高真空腔体：2个高真空腔体包括负荷锁及Evaporation,极限真空极限压力<2e-8 Torr

2排气速率：ATM到3E-7 Torr<20分钟(装载锁)

3基板加热：RT-600ºC

4离子束清洗：考夫曼离子源,离子能量100-600 eV， 100-1200eV; 离子束电流：:20-200mA,或100基板刻蚀
均一性<3%

5高压电源：6-10千瓦电源，1-6源口袋

6成膜均匀性：<3%（6inch Wafer）

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工商信息

企业名称

厦门韫茂科技有限公司

企业类型

信用代码

91350200MA31JEYQ4Y

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注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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厦门韫茂科技有限公司成立于2018年，团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类**技术近50项，入选国家级高新技术企业及国家级专精特新“小巨人”企业。韫茂科技专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等领域薄膜沉积设备的研发与生产，目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。凭借在先进材料设备业

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